[发明专利]离子束装置、离子注入装置、离子束放出方法

摘要

本发明涉及离子束装置、离子注入装置、离子束放出方法。除去堆积于引出电极的反应副生成物，以便能够立即恢复为离子束照射。设定对引出电极（34）施加正电压的正电压期间，在离子源（33）的内部生成电子，从离子源（33）引出电子，使其照射到引出电极（34）来对引出电极（34）进行加热。在真空环境中，反应副生成物层（27）进行蒸发，除去反应副生成物层（27）。向离子源（33）导入清洗气体来生成清洗气体的正离子，设定对引出电极（34）施加负电压的负电压期间，将清洗气体的正离子向引出电极（34）照射，通过溅射或蚀刻反应来除去反应副生成物层（27）也可。

主权项

1.一种离子束装置，具有：离子源；主电源，在所述离子源的容器内生成电子；引出电极，被设置在所述离子源的外部；以及辅助电源，对所述引出电极施加电压，所述引出电极被配置为设置于所述引出电极的加速孔与所述离子源的放出口面对面，利用在所述容器内生成的电子对被导入到所述离子源中的注入材料气体进行离子化，通过离子化生成的正离子被由所述辅助电源施加负电压后的所述引出电极引出而成为离子束被放出，其中，所述辅助电源被构成为能够对所述引出电极施加正电压，具有：温度传感器，测定所述引出电极的温度；以及控制装置，控制所述辅助电源的输出功率，当对所述引出电极施加正电压时，在所述容器的内部移动的电子被所述引出电极吸引而入射到所述引出电极，所述引出电极被入射的电子加热，所述温度传感器输出的信号被输入到所述控制装置，所述辅助电源的输出功率由所述控制装置控制，以所述引出电极被维持为规定温度的方式控制向所述引出电极的电子的入射量。