[发明专利]产生掩膜图案的系统和方法以及曝光系统

摘要

本发明实施例公开了一种产生掩膜图案的系统、一种产生掩膜图案方法以及一种曝光系统。根据本发明实施例，用于产生掩膜图案的系统，包括：掩膜图案提供设备，配置为通过有线或无线网络提供掩膜图案信号；掩膜图案传送设备，配置为对掩膜图案提供设备提供的掩膜图案信号进行处理，以产生掩膜图案信息，并且通过射频标识“RFID”信号传送产生的掩膜图案信息；以及掩膜图案产生设备，配置为基于掩膜图案信息，产生与掩膜图案信息对应的掩膜图案并显示。在本申请实施例中，利用物联网技术实现了掩膜图案提供设备(本地PC或移动设备)与掩膜图案产生设备之间的交互，使得掩膜图案产生设备通过电子墨水屏显示多种不同掩膜图案，从而实现了快速方面、低成本的曝光方式。

主权项

1.一种用于产生掩膜图案的系统，包括：掩膜图案提供设备，配置为通过有线或无线网络提供掩膜图案信号；掩膜图案传送设备，配置为对所述掩膜图案提供设备提供的所述掩膜图案信号进行处理，以产生掩膜图案信息，并且通过射频标识“RFID”信号传送产生的掩膜图案信息；以及掩膜图案产生设备，配置为基于所述掩膜图案信息，产生与所述掩膜图案信息对应的掩膜图案并显示；其中，所述掩膜图案传送设备包括RFID控制器，配置为向所述掩膜图案产生设备发送所述RFID信号，以向所述掩膜图案产生设备供电并传送所述掩膜图案信息，其中所述RFID信号包括所述掩膜图案信息和用于对所述掩膜图案产生设备供电的电能信号。