[发明专利]基板传送装置及其传送方法

摘要

本发明公开了一种基板传送装置及其传送方法，用以提高基板被传送效率，减少基板传送时的磨损，提高显示面板的制备效率。其中基板传送装置包括往复对位机构和取屏机构；往复对位机构包括：用于承载基板的承载平台，用于驱动承载平台带动所承载的基板移动到设定位置的第一驱动机构；取屏机构位于往复对位机构上的基板的垂直方向上、且包括：用于拾取往复对位机构上的基板的拾取臂，用于驱动拾取臂移动的第二驱动机构，当往复对位机构移动到设定位置时，第二驱动机构用于驱动拾取臂拾取往复对位机构上的基板。

主权项

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：往复对位机构和取屏机构；其中：所述往复对位机构包括：用于承载所述基板的承载平台，用于驱动所述承载平台带动所承载的基板移动并对位到设定位置的第一驱动机构；所述取屏机构位于所述往复对位机构上的基板的垂直方向上、且包括：用于拾取所述往复对位机构上的基板的拾取臂，用于驱动所述拾取臂移动的第二驱动机构，当所述往复对位机构移动到设定位置时，所述第二驱动机构用于驱动所述拾取臂拾取所述往复对位机构上的基板；至少一个放屏手臂，所述取屏机构将拾取的基板移送到一放屏手臂上；其中：每个放屏手臂包括：用于承载所述取屏机构移送来的基板的传送平台，用于驱动所述传送平台移动的第三驱动机构；所述传送平台设有用于吸附所述取屏机构移送来的基板的多个真空吸孔。