[发明专利]基于强度调制的白光干涉相位显微系统及其相位计算方法

摘要

本发明公开了一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统及其相位计算方法，通过改进了光路设计，利用纯振幅空间光调制器代替纯相位空间光调制器，可以控制参考光的光强，当参考光强变化时，干涉光强随之变化，若已知振幅型空间光调制器的调制曲线，就可以求得干涉图中的各个信息分量；本系统产生的光强变化大，可以使用普通相机获得干涉数据；本技术方案中，透射型光路不存在入射角度的问题，解决了入射角限制的问题。

主权项

1.一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统的相移干涉相位计算方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤S100：改变光源强度，通过基于强度调制的白光干涉相位显微系统获得具有不同强度的4幅成像图样；步骤S200：4幅成像图样根据不同的光源强度所具有的不同灰度值通过透射式纯振幅空间光调制器转换成不同的透过率，4个不同灰度值的透射式纯振幅空间光调制器透过率分别为：，，，；步骤S300：将式1整理成式2：  （1）其中，代表参考光的振幅，代表物体信息光的振幅，代表物体的相位分布，代表干涉图中像素点的位置，代表透射式纯振幅空间光调制器200的透过率，将式1整理成式2：  （2）步骤S400：再将式（2）整理成式（3）的矩阵形式：  （3）步骤S500：分别将，，，代入式3中，得到4个表达式；步骤S600：通过步骤S500的4个表达式求出，和；步骤S700：再求出和；步骤S800：最后求得和干涉图相关联的相位分布：。