[发明专利]红外硫系玻璃表面镀类金刚石薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610165667.6 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN107217259A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 杨阳 | 申请（专利权）人： | 杨阳 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430050 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在任意红外光学镜片材料上镀类金刚石薄膜的制备方法，该方法不仅可以提高镜片表面的机械强度，同时还兼具优良的光学性能，大幅升红外系统在恶劣环境下的使用寿命。本发明的制备方法以材质较软且无法直接沉积类金刚石薄膜的硫系材料IG6基板为例，用PVD技术分别在基板表面镀适当厚度的ZnS、Ge、ZnS、Ge，然后用PECVD技术沉积类金刚石薄膜。本发明制备出的IG6镜片表面光滑坚硬牢固，有很强的耐腐蚀能力，经盐水煮不会发生膜层脱落问题，配合另一面做增透，光谱性能优越，8~11.5μm平均透过率能达到92%。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 玻璃 表面 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
本发明是在不同材质的红外光学镜片表面沉积类金刚石薄膜（DLC）的一种制备方法，其特征在于过渡层的制备，实现了类金刚石薄膜的沉积条件和良好的膜层间的附着力支撑，过渡层以Ge为最外层，并用ZnS、Ge两种材料交替使用，即G | ZnS Ge ZnS Ge DLC | Air，根据实际需要，使用光学薄膜软件优化可以计算出每层需要镀膜的厚度，而达到最优良的光谱特性。
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