[发明专利]一种可调激光器及制备方法在审

专利信息
申请号: 201610169359.0 申请日: 2016-03-23
公开(公告)号: CN107230930A 公开(公告)日: 2017-10-03
发明(设计)人: 贺继方;陈宏民;雷红兵;沈晓安 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H01S5/06 分类号: H01S5/06;H01S5/343
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种热调谐的波长可调激光器,所述激光器包括加热层、介质层、反射镜、传输层、支撑层和衬底层。其中,所述加热层,位于所述传输层的上方;所述传输层,位于所述支撑层上方,从上到下包括上包层,波导层和下包层;所述反射镜,位于所述传输层中;所述支撑层,位于所述传输层和所述衬底层之间,具有保护结构,所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构,所述中空的部分具有支撑结构;所述衬底层,位于所述支撑层的下方。其中,所述加热层,反射镜和部分传输层组成悬空结构,可以防止热量散失。本发明的激光器利用底部支撑的悬空结构进行隔热,制作方式简单,可以提高热调谐效率,降低功耗。
搜索关键词: 一种 可调 激光器 制备 方法
【主权项】:
一种热调谐的波长可调激光器,其特征在于,包括:加热层,传输层,反射镜,支撑层和衬底层,其中,所述加热层,位于所述传输层的上方;所述传输层,位于所述支撑层上方,从上到下包括上包层,波导层和下包层;所述反射镜,位于所述传输层中;所述支撑层,位于所述传输层和所述衬底层之间,具有保护结构,所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构,所述中空的部分具有支撑结构;所述衬底层,位于所述支撑层的下方。
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