[发明专利]一种可调激光器及制备方法在审
申请号: | 201610169359.0 | 申请日: | 2016-03-23 |
公开(公告)号: | CN107230930A | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 贺继方;陈宏民;雷红兵;沈晓安 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06;H01S5/343 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种热调谐的波长可调激光器,所述激光器包括加热层、介质层、反射镜、传输层、支撑层和衬底层。其中,所述加热层,位于所述传输层的上方;所述传输层,位于所述支撑层上方,从上到下包括上包层,波导层和下包层;所述反射镜,位于所述传输层中;所述支撑层,位于所述传输层和所述衬底层之间,具有保护结构,所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构,所述中空的部分具有支撑结构;所述衬底层,位于所述支撑层的下方。其中,所述加热层,反射镜和部分传输层组成悬空结构,可以防止热量散失。本发明的激光器利用底部支撑的悬空结构进行隔热,制作方式简单,可以提高热调谐效率,降低功耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 可调 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种热调谐的波长可调激光器,其特征在于,包括:加热层,传输层,反射镜,支撑层和衬底层,其中,所述加热层,位于所述传输层的上方;所述传输层,位于所述支撑层上方,从上到下包括上包层,波导层和下包层;所述反射镜,位于所述传输层中;所述支撑层,位于所述传输层和所述衬底层之间,具有保护结构,所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构,所述中空的部分具有支撑结构;所述衬底层,位于所述支撑层的下方。
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