[发明专利]片基板的搬送装置及处理装置有效
| 申请号： | 201610169564.7 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN105836510B | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 浜田智秀;木内彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65H23/04 | 分类号： | B65H23/04;B65H23/182;B65H23/195 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有形成为带状、具有可挠性的基板(S)的搬送装置(1)，该搬送装置具有供应滚筒(5b)，送出基板(S)；回收滚筒(6b)，卷取基板(S)；以及驱动部(8)，将供应滚筒(5b)与回收滚筒(6b)驱动于相对从基板(S)的运送方向交叉的方向(X，Z)。供应滚筒(5b)被导引于第一轨(3)，回收滚筒(6b)被导引于第二轨(4)。轨驱动机构(7)变更两滚筒(5b，6b)间的间隔。配置于轨(3，4)间的处理部(PA)，对树脂或不锈钢制的基板(S)进行成膜、曝光、洗净等处理。处理部(PA)，沿轨(3，4)配置有多个。通过以多个处理部(PA)依序处理沿两滚筒(5b，6b)与轨(3，4)被运送的基板(S)，于基板(S)上形成有机EL元件。 | ||
| 搜索关键词： | 片基板 装置 处理 | ||
【主权项】：
一种片基板的搬送装置，是将具有可挠性的片基板以卷轴方式搬送至处理装置，其特征在于，所述片基板的搬送装置具备：基板供应机构，具备卷有所述片基板的供应滚筒，用以对所述处理装置沿长条方向供应所述片基板；基板回收机构，具备卷有所述片基板的回收滚筒，用以回收从所述处理装置搬出的所述片基板；第一移动机构，以将所述片基板横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的状态于与所述长条方向交叉的方向使所述基板供应机构与所述基板回收机构移动；以及第二移动机构，以将所述片基板横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的状态使所述基板供应机构与所述基板回收机构的至少一方移动于所述长条方向。
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