[发明专利]掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置

摘要

本发明公开了一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，包括底板、固定在底板两端的定位侧板，位于所述定位侧板之间的底板上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体，所述吸盘体之间的底板上设有背光源，吸盘体内设有气体通道，吸盘体侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头，搁置掩膜板处的吸盘体上表面具有与气体通道相通的长凹槽，所述的定位侧板上设有从吸盘体两端将吸盘体夹紧固定的紧固旋钮。本发明通过吸盘体作相远或相近的移动及内设的背光源,满足了不同尺寸规格掩模板光刻检测的定位和背景光要求，实现了真空吸附不同规格掩膜板及背景采光目的，节省了作业时间，提高了检测效率和检测质量。

主权项

一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，具有底板(1)，其特征是：所述的底板(1)两端分别设有定位侧板(2)，位于所述定位侧板(2)之间的底板(1)上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体(3)，所述吸盘体(3)之间的底板(1)上设有背光源(4)，吸盘体(3)内设有气体通道，吸盘体(3)侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头(5)，搁置掩膜板处的吸盘体(3)上表面具有与气体通道相通的长凹槽(6)，所述的定位侧板(2)上设有从吸盘体(3)两端将已定位好位置的吸盘体(3)夹紧固定的紧固旋钮(7)。