[发明专利]图形化蓝宝石衬底的回收方法在审
| 申请号： | 201610171120.7 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN105609600A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 刘为刚;曾莹 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/78;B23K26/00;B23K26/36 |
| 代理公司： | 长沙智嵘专利代理事务所 43211 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 423038 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，该图形化蓝宝石衬底的回收方法包括以下步骤：将带隙能量为3.9～5.9eV的激光从图形化蓝宝石衬底背面射入至外延层，使得图形化蓝宝石衬底从外延层上剥离，外延层包括氮化镓缓冲层，氮化镓缓冲层的带隙能量为3.2～3.4ev，图形化蓝宝石衬底的带隙能量为8.7～8.9eV。激光穿过图形化蓝宝石衬底到氮化镓缓冲层，带隙能量为3.2～3.4ev氮化镓缓冲层强烈吸收带隙能量3.9～5.9eV的激光能量，并产生一个局部爆炸冲击波，使得氮化镓缓冲层与图形化蓝宝石衬底分离，图形化蓝宝石衬底从外延层上剥离。该方法可快速去除图形化蓝宝石衬底上的外延层，而且不会损伤图形化蓝宝石衬底上的图形阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 蓝宝石 衬底 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，用于从外延报废片上回收图形化蓝宝石衬底(10)，其特征在于，包括以下步骤：将带隙能量为3.9～5.9eV的激光从图形化蓝宝石衬底(10)背面射入至外延层(20)，使得图形化蓝宝石衬底(10)从外延层(20)上剥离，所述外延层(20)包括氮化镓缓冲层(30)，所述氮化镓缓冲层(30)的带隙能量为3.2～3.4ev，所述图形化蓝宝石衬底(10)的带隙能量为8.7～8.9eV。
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