[发明专利]一种微电路模块壳体与盖板的钎焊密封封盖方法及结构有效

专利信息
申请号: 201610172495.5 申请日: 2016-03-24
公开(公告)号: CN105689833B 公开(公告)日: 2018-02-23
发明(设计)人: 杨伟;吴诗晗;周志勇 申请(专利权)人: 株洲天微技术有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;B23K1/00;B23K101/36
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司11319 代理人: 吴志勇
地址: 412007 *** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及一种微电路模块壳体与盖板的钎焊密封封盖方法,包括如下步骤微电路模块壳体和盖板的机加工和电镀;电路装配后,进行壳体和盖板的钎焊密封;完成密封性检测,补焊泄漏点;电性能不合格的密封模块开盖返工;最后对合格品的壳体和盖板的外表面喷涂三防漆。本发明的钎焊密封封盖方法具有盖板结构简单,机加工容易;可防止焊锡和焊剂流入微电路模块腔体内部;焊锡不易到处流淌,焊后微电路模块美观等优点,可广泛应用于各种类型微电路模块的密封封装。
搜索关键词: 一种 电路 模块 壳体 盖板 钎焊 密封 方法 结构
【主权项】:
一种微电路模块壳体(2)与盖板(1)的钎焊密封封盖方法,其特征在于,在壳体顶部(7)开用于密封盖板(1)和壳体(2)的Y形坡口(8),在盖板(1)上铣出一个贯通盖板(1)的中心通孔(9),包括以下步骤:A.电镀:钎焊前,先对壳体和盖板上除了壳体顶部(7)和盖板边缘(10)的其它位置进行电镀;B.涂硅胶并固化:用硅胶均匀涂抹壳体台阶(11),再将盖板(1)装配在壳体台阶(11)上等待硅胶固化;C.预热:将壳体(2)放置在热台(3)上进行预热;D.钎焊:将壳体(2)和盖板(1)放置在热台(3)上进行钎焊;E.抽真空与烘焙:将焊接好的壳体(2)和盖板(1)放入手套箱中抽真空,再充入高纯惰性气体,并对壳体(2)和盖板(1)进行烘焙;F.封口:用电烙铁和焊锡丝对盖板(1)上的中心通孔(9)进行封口;G.漏点检测:用氦气质谱仪对产品进行漏点检测;H.返工:对漏点检测和电性能不合格的产品进行返工;I.喷漆:对合格产品的壳体(2)和盖板(1)的外表面喷涂三防漆。
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