[发明专利]一种静电喷雾热解制备薄膜装置

摘要

本发明公开了一种静电喷雾热解制备薄膜装置；该装置由高温炉，传送带，静电喷头，储气罐，储液罐和高压电源所组成；静电喷头与储气罐和储液罐分别通过软管连接，并放置在两台高温炉的间隙中；高压电源与静电喷头通过导线连接；高温炉前后开有方孔，并且相通；传送带通过方孔穿过高温炉。用该装置制备氧化物薄膜，可以提高原材料的利用率，降低薄膜制备成本，增强薄膜与基底的结合强度并得到高质量的薄膜。

主权项

一种静电喷雾热解制备薄膜装置，其特征在于，其包括高温炉，静电喷头，传送带，储液罐，储气罐和高压电源。