[发明专利]顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法

摘要

提供顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法，不需要分光器的温度校正机构和机械地移动检测器的机构等。该顺序型ICP发光分光分析装置将波长不同的多个氩发光线作为基准波长而持续进行测定的结果取得基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量(时间依存性)和基准波长的每个波长的位移量(波长依存性)。进而，控制部(40)计算测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为衍射光栅(22a)相对于初始位置的移动位置的校正量，进行相对于初始位置校正与测定波长的波长峰值位置对应的衍射光栅(22a)的移动位置的测定波长校正。

主权项

一种顺序型ICP发光分光分析装置，其具有：感应耦合等离子体产生部，其通过感应耦合等离子体对元素进行原子化或激励，得到所述元素的发光线；分光器，其取入所述发光线后，利用衍射光栅进行分光并检测；检测部，其检测由所述分光器分光后的所述发光线；以及控制部，其根据由所述检测部检测到的所述发光线的波长峰值位置，进行测定对象元素的分析，所述控制部根据作为将波长不同的多个氩发光线作为基准波长持续进行测定的结果而得到的，所述基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位移量和所述基准波长的每个波长的位移量，计算所述测定对象元素的检量线生成时设定的各测定波长的波长峰值位置的位移量作为所述衍射光栅相对于初始位置的移动位置的校正量，进行相对于初始位置校正所述衍射光栅的与所述测定波长的波长峰值位置对应的移动位置的测定波长校正。