[发明专利]一种有机材料蒸发装置在审
| 申请号： | 201610186061.0 | 申请日： | 2016-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN105648405A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;武启飞;陈敏 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电装备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种有机材料蒸发装置，包括陶瓷封接电极、连接套和蒸发源，连接套分别与陶瓷封接电极和蒸发源相密封配接，并且陶瓷封接电极的导电柱延伸至连接套的内部，蒸发源包括与连接套相接的基座，基座背离连接套的一侧设置有陶瓷座，陶瓷座上设置有坩埚，坩埚内绕制有加热丝，加热丝的引脚穿过坩埚的底部、陶瓷座及基座与陶瓷封接电极的导电柱相导通连接。本发明的有机材料蒸发装置结构简单紧凑，安装及维修均较为便捷；增设了热电偶，能在加热过程中直观的监测温度，有利于控制材料的蒸发；采用钽加热丝或钨加热丝作为加热介质，可以达到较高温度，加热速度快，效率高，耗能低；具有防护罩，起到隔热防污等作用，降低了热能损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 材料 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种有机材料蒸发装置，其特征在于：包括陶瓷封接电极、连接套和蒸发源，所述连接套分别与陶瓷封接电极和蒸发源相密封配接，并且所述陶瓷封接电极的导电柱延伸至所述连接套的内部，其中，所述蒸发源包括与连接套相接的基座，所述基座背离所述连接套的一侧设置有陶瓷座，所述陶瓷座上设置有坩埚，所述坩埚内绕制有加热丝，所述加热丝的引脚穿过坩埚的底部、陶瓷座及基座与所述陶瓷封接电极的导电柱相导通连接。
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