[发明专利]一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构有效

专利信息
申请号: 201610187670.8 申请日: 2014-07-18
公开(公告)号: CN105742145B 公开(公告)日: 2017-10-13
发明(设计)人: 王义林;张大梁;周向志 申请(专利权)人: 镇江乐华电子科技有限公司
主分类号: H01J37/26 分类号: H01J37/26;H01J37/28;H01J37/22;H01J37/244
代理公司: 杭州知通专利代理事务所(普通合伙)33221 代理人: 应圣义
地址: 212415 江苏省句容*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构,属于透射电子显微镜的附件结构设计领域,该集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构通过在镜筒的侧部接口上安装调整部件,并在位于镜筒内部的调整部件上集成安装TEM荧光屏和STEM探测器,使得只需要改变调整部件在透射电子显微镜镜筒中的位置,便能够实现TEM荧光屏或者STEM探测器来接收电子束,从而满足镜筒的一个侧部接口同时安装CCD相机用荧光屏(TEM荧光屏)和STEM探测器的目的,进而满足用户对于透射电子显微镜的功能最大化的需求,实现超值的性价比。
搜索关键词: 一种 集成 tem 荧光屏 stem 探测器 一体化 结构
【主权项】:
一种集成 TEM 荧光屏和STEM 探测器的一体化结构,其特征在于,包括:具有侧部接口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件,所述调整部件为滑动机构或翻转机构,所述调整部件的正视面形状为直角梯形,所述调整部件的一部分位于所述镜筒内部;所述调整部件的正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰之间的夹角为135°;位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM 荧光屏和STEM 探测器;所述TEM 荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰面上,所述STEM 探测器安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的上底面上或下底面上。
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