[发明专利]X射线产生装置有效
| 申请号： | 201610188205.6 | 申请日： | 2016-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106128925B | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 宫冈明宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J35/10 | 分类号： | H01J35/10 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1)，将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含引导用平坦面(10a)，在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成；被引导用平坦面(13a)，在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成；以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此，引导机构中的摩擦力得以减轻。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种X射线产生装置，在真空容器内配置着电子枪，使通过将来自所述电子枪的电子束照射到靶材而产生的X射线，经由X射线照射窗出射到外部，所述X射线产生装置的特征在于：所述真空容器包括：固定着所述电子枪的本体部、及能够经由真空波纹管相对于所述本体部移动且气密地连结的移动部，在所述移动部设置着所述靶材及所述X射线照射窗，并且在所述真空容器的外侧设置着引导机构，所述引导机构在所述移动部的移动时为了将所述靶材的电子束照射面与所述电子枪的距离保持为固定而限制所述移动部的朝向相对于所述电子枪的接近或离开方向的移动及倾斜；所述引导机构包括：引导部，设置于所述本体部侧且形成着沿着与所述电子束的中心轴正交的面的引导用平坦面；被引导部，设置于所述移动部侧且形成着与所述引导用平坦面相向的被引导用平坦面；以及至少三个转动体，配置于所述引导用平坦面与所述被引导用平坦面间。
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