[发明专利]使用工艺气体和冷却的表面的带电粒子束处理有效
| 申请号： | 201610189965.9 | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106024563B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | A.马丁;G.麦克克雷迪;M.托思 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;王传道 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及使用工艺气体和冷却的表面的带电粒子束处理。一种冷阱被提供以减少在使用工艺气体的操作期间与束反应的污染物气体。所述冷阱被设置成使污染物气体冷凝但是不使工艺气体冷凝的温度。冷阱可以用于样品腔中以及气体管线中。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 工艺 气体 冷却 表面 带电 粒子束 处理 | ||
【主权项】：
一种在处理腔中的工件的带电粒子束处理的方法，包括：在工件表面处提供工艺气体；朝着工件表面指引带电粒子束；提供在处理腔之内的冷却的表面，所述冷却的表面的温度足够冷以从处理腔去除污染物，但是对于使工艺气体冷凝不足够冷。
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