[发明专利]光刻机系统和运动台直线电机定子自动复位装置和方法

摘要

本发明提供一种电机定子自动复位装置和光刻机系统以及运动台直线电机定子自动复位方法，皆在电机定子上连接复位执行元件，并在电机上安装能够检测电机定子实时位置与位移的检测装置，当电机定子未回复至指定位置时，由复位执行元件将电机定子移动至指定位置，无需定期进行人工复位，即可实现运动台的自动运行，省时省力且提供了效率。

主权项

1.一种光刻机系统，从上至下包括一照明系统，用于提供曝光光源；一掩膜台，用于放置掩膜版；一内部框架，内部从上至下依次包括用于收集所述照明系统提供的照明光的一投影物镜和用于承载基板的一工作台；一减振器；一地基，用于承载所述光刻机系统；其特征在于，还包括一反力外引框架；所述工作台固定在运动台上并由所述运动台带动作平面运动，所述运动台由若干个直线电机驱动，所述直线电机上设置有运动台电机定子自动复位装置；其中，所述反力外引框架由若干个支撑架构成，所述支撑架一端固定于所述地基上，另一端固定在所述直线电机上，将所述直线电机的振动传递到所述地基；所述电机定子自动复位装置包括：一复位到位传感器，与直线电机定子的原始位置对应，用于检测所述电机定子的实时位置；一位移检测传感装置，固定于所述电机定子上，用于检测所述电机定子相对于所述原始位置的位移；一复位执行元件，与所述电机定子连接，用于使所述电机定子复位至所述原始位置；一控制系统，用于接收所述复位到位传感器和所述位移检测传感装置的检测数据，并且根据所述检测数据，对所述复位执行元件发送信号，使所述复位执行元件将所述电机定子复位至所述原始位置。