[发明专利]运动台测量系统、方法以及运动台有效
| 申请号： | 201610193277.X | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN107290932B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 程国苗;贾辉;杨庆华;连国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种运动台测量系统、方法以及运动台，该运动台测量系统包括：安装在运动台粗动电机两端的加速度传感器、与所述加速度传感器连接的信号调理模块、与所述信号调理模块连接的控制模块以及与所述控制模块连接的电机驱动模块，其中，所述加速度传感器为三向正交振动的加速度传感器。本发明采用三向正交振动的加速度传感器，可以同时测量粗动电机在X、Y、Z三个方向的加速度，并输出三个方向的加速度值，实现空间上的监控，加速度值具有相位超前，提前判断的优点，可以及时保护运动台，解决掉现有技术中存在的安全隐患。且本发明中的每个粗动电机上的加速度传感器均设置有两组，可以精确获得运动台的实际速度和位移。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 测量 系统 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种运动台测量系统，其特征在于，包括：安装在运动台粗动电机两端的加速度传感器、与所述加速度传感器连接的信号调理模块、与所述信号调理模块连接的控制模块以及与所述控制模块连接的电机驱动模块，其中，所述加速度传感器为三向正交振动的加速度传感器。
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