[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法有效
| 申请号： | 201610200291.8 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106019833B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杉原昌子;中西润次;西村崇 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题的目的是提供能够制造具有优异的形状、从曝光到加热处理为止的后曝光放置时间(PED)所引起的抗蚀图案尺寸变化小的抗蚀图案的抗蚀剂组合物。其解决手段为一种抗蚀剂组合物，含有：含式(I)表示的结构单元的树脂、碱溶性树脂、产酸剂和溶剂。 |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂组合物，其含有：含式(I)表示的结构单元的树脂、碱溶性树脂、产酸剂和溶剂；![]()
式(I)中，Ri51表示氢原子或甲基；Ri52和Ri53各自独立地表示氢原子或碳原子数1～12的烃基；Ri54表示碳原子数5～20的脂环式烃基；Ri55表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基；p表示0～4的整数；p为2以上时，多个Ri55可彼此相同或不同。
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