[发明专利]一种微机电多值存储器件有效
| 申请号： | 201610200300.3 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN105825886B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 万能 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G11C13/00 | 分类号： | G11C13/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电多值存储器件，包括硅衬底、分别通过硅支撑柱悬空设置在所述硅衬底上的第一石墨烯电极和执行器、设置在所述执行器端部并与第一石墨烯电极对应设置的第二石墨烯电极，所述第一石墨烯电极和第二石墨烯电极上侧均设置有金属电极，所述执行器与第二石墨烯电极绝缘连接。本发明结构简单、可靠性高、灵敏度高，数值区分度大、能耗低、抗干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 石墨烯 多值存储器件 硅衬底 微机电 抗干扰能力 金属电极 绝缘连接 悬空设置 灵敏度 硅支撑 器端部 区分度 能耗 | ||
【主权项】：
1.一种微机电多值存储器件，其特征在于，该器件包括硅衬底（2）、分别通过硅支撑柱（1）悬空设置在所述硅衬底（2）上的第一石墨烯电极（4）和执行器（3）、设置在所述执行器（3）端部并与第一石墨烯电极（4）对应设置的第二石墨烯电极（5），所述第一石墨烯电极（4）和第二石墨烯电极（5）上侧均设置有金属电极，所述执行器（3）与第二石墨烯电极（5）绝缘连接，第一石墨烯电极（4）和第二石墨烯电极（5）之间有接触点；所述执行器（3）为磁致伸缩，电致伸缩，热致伸缩，场致伸缩或者单纯的机械移动机构或者部件，能够在施加磁场、电压、受热、静电场或机械移动作用下产生伸缩形变，使第一石墨烯电极（4）和第二石墨烯电极（5）的接触点与对面电极接触或断开，从而实现第一石墨烯电极（4）和第二石墨烯电极（5）的通断。
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