[发明专利]一种带机械限位结构的掩模台

摘要

本发明公开了一种带机械限位结构的掩模台，包括粗动模块、微动模块和限位保护件，粗动模块包括粗动滑块，微动模块包括承版台，限位保护件的两侧分别连接粗动滑块和承版台，限位保护件包括限位块、限位销、导向座和弹性元件，限位块与限位销相对的一侧上设有凹槽，限位销一端设有与凹槽相适配的凸起，限位销的另一端与弹性元件连接，限位销可在导向座内弹性运动，使凸起可滑入凹槽或从凹槽内滑出。本发明中当碰撞力大于一定设计值时，粗动模块和微动模块可相互脱离，避免粗动电机带着承版台高速失控行驶，当承版台脱离粗动模块后，慢慢减速最后撞击在设于粗动行程和微动行程两端的缓冲器上，从而有效保护承版台及固定其上的掩模版。

主权项

1.一种带机械限位结构的掩模台，其特征在于，包括粗动模块、微动模块和限位保护件，所述粗动模块包括粗动滑块，所述微动模块包括承版台，所述限位保护件的两侧分别连接所述粗动滑块和承版台，其特征在于，所述限位保护件包括限位块、限位销、导向座和弹性元件，所述限位块与所述限位销相对的一侧上设有凹槽，所述限位销一端设有与所述凹槽相适配的凸起，所述限位销的另一端与所述弹性元件连接，所述限位销可在所述导向座内弹性运动，使所述凸起可滑入所述凹槽或从所述凹槽内滑出。