[发明专利]一种用于膜厚测量的定位装置在审
| 申请号： | 201610205408.1 | 申请日： | 2016-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN105737786A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 梅林;张立超;才玺坤;武潇野;时光;贺健康;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于膜厚测量的定位装置，包括中间开口的元件支撑基座、下底板支撑基座、支撑连接在所述元件支撑基座与下底板支撑基座之间的支撑金属柱、固定设置在所述下底板支撑基座上的支撑台、旋转连接在所述支撑台上的精密旋转台、固定在所述精密旋转台上的精密平移台、滑动设置在所述精密平移台上的滑动台面及插在所述滑动台面上的激光笔。该定位装置，根据极坐标原理，通过精密旋转台和精密平移台，能够实现对镀膜元件表面任意一点位置的确定，激光笔的光线照射在元件表面时可以形成一个光斑，将光斑与膜厚测量仪的测量探头对准，即可实现测量位置的定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种用于膜厚测量的定位装置，其特征在于，包括中间开口的元件支撑基座(1)、下底板支撑基座(2)、支撑连接在所述元件支撑基座(1)与下底板支撑基座(2)之间的支撑金属柱(3)、固定设置在所述下底板支撑基座(2)上的支撑台(4)、旋转连接在所述支撑台(4)上的精密旋转台(5)、固定在所述精密旋转台(5)上的精密平移台(6)、滑动设置在所述精密平移台(6)上的滑动台面(7)及插在所述滑动台面(7)上的激光笔(8)。
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