[发明专利]一种显影设备和显影方法在审
| 申请号： | 201610206299.5 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN105607434A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 郭杨辰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影设备和显影方法，以改善目前显影设备用于对基板进行显影工艺时，基板显影后形成的图案的图形线宽均一性较差的问题。显影设备，包括承载平台和多个喷嘴，所述承载平台用于承载基板并使所述基板的第一延展方向与水平面呈预定夹角，各个所述喷嘴在所述承载平台上方并排排列且距水平面的高度相同，各个所述喷嘴的排列方向与所述第一延展方向在水平面的垂直投影平行，所述喷嘴用于以实心锥模式将显影液喷洒于所述基板上，各所述喷嘴喷洒显影液的发散角可调，以控制相邻两个所述喷嘴喷洒的显影液落于所述基板上的交叠区域的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种显影设备，包括承载平台和多个喷嘴，所述承载平台用于承载基板并使所述基板的第一延展方向与水平面呈预定夹角，各个所述喷嘴在所述承载平台上方并排排列且距水平面的高度相同，各个所述喷嘴的排列方向与所述第一延展方向在水平面的垂直投影平行，所述喷嘴用于以实心锥模式将显影液喷洒于所述基板上，其特征在于，各所述喷嘴喷洒显影液的发散角可调，以控制相邻两个所述喷嘴喷洒的显影液落于所述基板上的交叠区域的面积。
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