[发明专利]一种集成保护台面晶闸管及其制作方法在审
| 申请号： | 201610207115.7 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN105679818A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 何春海 | 申请（专利权）人： | 江苏东晨电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/74 | 分类号： | H01L29/74;H01L21/332 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛;刘畅 |
| 地址： | 214205 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成保护台面晶闸管及其制作方法，它在玻璃钝化层上面形成一定厚度的PI胶钝化层，该PI胶钝化层在高纯氮气保护下，以280～320℃温度，经过100～150分钟加热，使PI胶钝化层亚胺化并和玻璃钝化层融合，形成集成保护层。所述台面晶闸管的玻璃钝化层表面覆盖有PI胶钝化层，玻璃钝化层和PI胶钝化层形成集合保护层。通过本发明的上述技术方案，采用玻璃钝化+PI胶钝化工艺，形成集成保护层。有效改善了钝化层的电荷分布，从而有效的降低了晶闸管的漏电流，提高了晶闸管的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 保护 台面 晶闸管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种集成保护台面晶闸管的制作方法，其特征在于它在玻璃钝化层(4)上面形成一定厚度的PI胶钝化层(1)，该PI胶钝化层(1)在高纯氮气保护下，以280～320℃温度，经过100～150分钟加热，使PI胶钝化层(1)亚胺化并和玻璃钝化层(4)融合，形成集成保护层。
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