[发明专利]一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法

摘要

本发明涉及一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法，其步骤为(1)配置好热溶胶，浓度为0.1％～2.0％，热溶胶温度为50～95℃，凝胶化温度＜40℃；(2)将热溶胶添加于微纳结构上，改变温度形成凝胶层，并通过旋涂或提拉工艺控制凝胶层的厚度及平整度，将大高宽比微纳结构固定在凝胶层中；(3)对已固定的大高宽比微纳结构进行检测或添加夹具；(4)将检测过的样品置于热水浴中，去除微纳结构上的凝胶。本发明通过在微纳结构中形成凝胶来消除溶剂挥发所产生的液体表面张力，从而防止结构失效，将工艺形成的微纳结构有效地固定住，这样可以通过检测大高宽比微纳结构的好坏来进行工艺评价，以此来保证加工工艺的有效性。

主权项

一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法，其特征在于实现步骤如下：(1)配置好热溶胶，质量浓度为0.1％～2.0％，热溶胶温度为50～95℃；(2)将热溶胶添加于微纳结构上，改变温度形成凝胶层，并通过旋涂控制凝胶层的厚度及平整度，将大高宽比微纳结构固定在凝胶层中；(3)对已固定的大高宽比微纳结构进行检测或添加夹具；(4)将检测过的样品置于热水浴中，去除微纳结构上的凝胶；所述步骤(2)中改变温度为凝胶化温度＜40℃；所述旋涂工艺控制凝胶层的厚度及平整度的过程为：滴加热溶胶于微纳结构上，将整个结构完全覆盖均匀，先将样品置于甩胶台上冷却，再按照设置好的甩胶参数进行旋涂，即1000至3000转/分钟、旋涂20秒至1分钟，完成后静置一段时间，使结构间的热溶胶充分转化为凝胶，形成所需厚度及平整度的凝胶层。