[发明专利]一种高精度表面形貌测量仪在审
| 申请号： | 201610221104.4 | 申请日： | 2016-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN105674937A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 何绍木;张新华 | 申请（专利权）人： | 绍兴文理学院 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度表面形貌测量仪，包括基座、安装在所述基座上的花岗岩立柱、活动安装在所述花岗岩立柱上的升降装置、安装在升降装置上的横向驱动箱和安装在所述花岗岩立柱顶部的纵向传动箱，所述基座上安装有固定座，所述固定座上安装有花岗岩立柱，所述花岗岩立柱的两侧竖直安装有第一滚珠丝杠和第二滚珠丝杠；所述升降装置的上底面上镶嵌安装有第一距离传感器，所述升降装置的下底面上镶嵌安装有第二位距离感器，所述纵向传动箱的底面和固定座的顶面上均安装有反光机构。本发明的一种高精度表面形貌测量仪，采用双丝杠结构进行传动，采用上下两个距离传感器进行上下移动间距的测量，结构稳定、定位精度和测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 表面 形貌 测量仪 | ||
【主权项】：
一种高精度表面形貌测量仪，包括基座（1）、安装在所述基座（1）上的花岗岩立柱（2）、活动安装在所述花岗岩立柱（2）上的升降装置（3）、安装在升降装置（3）上的横向驱动箱（9）和安装在所述花岗岩立柱（2）顶部的纵向传动箱（4），所述横向驱动箱（9）上安装有传感器连接座（91），其特征在于：所述基座（1）上安装有固定座（7），所述固定座（7）上安装有花岗岩立柱（2），所述花岗岩立柱（2）的两侧竖直安装有第一滚珠丝杠（6）和第二滚珠丝杠（61），所述升降装置（3）均与第一滚珠丝杠（6）以及第二滚珠丝杠（61）活动相连；所述升降装置（3）的上底面上镶嵌安装有第一距离传感器（92），所述升降装置（3）的下底面上镶嵌安装有第二位距离感器（93），所述纵向传动箱（4）的底面和固定座（7）的顶面上均安装有反光机构（83）。
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