[发明专利]一种蒸镀载板及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201610225121.5 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN105734494B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 上官荣刚;孙力;王欣欣;马凯葓;万想 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀载板及蒸镀装置，属于蒸镀设备领域。所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部设置在所述载板上，OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。本发明通过降粘部在蒸镀完成后降低敏感胶的粘性，使OLED基板和蒸镀载板分离，避免通过外力使蒸镀载板和OLED基板分离而导致OLED基板发生变形、产生碎片或整体破碎的情况，进而避免影响生产节拍和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀载板 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀载板，其特征在于，所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部中的至少部分设置在所述载板上，有机发光二极管OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。
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