[发明专利]一种一体式晶圆出货影像留存设备有效
| 申请号： | 201610225525.4 | 申请日： | 2016-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN105679697B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 沈顺金;王印玺;郑李 | 申请（专利权）人： | 安徽晶新微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 234000 安徽省宿*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种一体式晶圆出货影像留存设备,包括静电操作台、金属挡板、摄像设备、静电纸和放置区域；所述金属挡板有三块，分别沿静电操作台的工作面的三条边垂直向上设置，所述摄像设备分别设置在各个金属挡板的顶部，所述放置区域凸起设置在静电操作台的工作面上，所述静电纸设置于所述放置区域内。本发明的晶圆出货包装完毕,将其放入本设备中，刷入此批次晶圆后既可实现自动三维拍照，三维照片上将储存该批次信息以便追溯，结构简单，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 出货 影像 留存 设备 | ||
【主权项】：
1.一种一体式晶圆出货影像留存设备，其特征在于，包括静电操作台、金属挡板、摄像设备、静电纸和放置区域；所述金属挡板有三块，分别沿静电操作台的工作面的三条边垂直向上设置，所述摄像设备分别设置在各个金属挡板的顶部，所述放置区域凸起设置在静电操作台的工作面上，所述静电纸设置于所述放置区域内,所述设备还包括计算机、显示设备和扫码设备，所述摄像设备连接计算机，计算机和显示设备相连，扫码设备连接计算机。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
