[发明专利]旋转靶材表面厚度、平面度的检测方法及检测系统在审

专利信息
申请号: 201610231826.8 申请日: 2016-04-12
公开(公告)号: CN105651192A 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 江永钊;沈艳斌 申请(专利权)人: 广州市尤特新材料有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01B11/30
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;黄华莲
地址: 510800 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及表面喷涂领域,公开了一种旋转靶材表面厚度、平面度的检测方法及检测系统,其中的测距模块跟随喷枪沿旋转靶材的轴向同步移动,并且测距模块实时检测涂层表面某一点与测距模块之间的距离l,测距模块将测量的数据传送给数据处理模块,数据处理模块根据公式h=L-r-l实时地计算出表面涂层的厚度。本发明可以在旋转靶材进行喷涂生产的过程中实时地检测旋转靶材的厚度或平面度,以避免采取停机来人工检测表面涂层厚度或平面度,不会影响表面喷涂的速度;采用光学检测模块来实时检测旋转靶材的表面可避人工检测所引入的人为误差,提高了检测的精度和准确度;采用光学检测的非接触式的检测方式,不会损害被检测的涂层表面,不影响涂层表面质量。
搜索关键词: 旋转 表面 厚度 平面 检测 方法 系统
【主权项】:
一种旋转靶材表面厚度的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)、喷涂前,获取测距模块与旋转靶材的轴线之间的距离为L,并测量回转体的半径r;(2)、喷涂时,回转体旋转,使测距模块跟随喷枪沿回转体的轴向同步移动,并通过测距模块实时检测回转体的靶材涂层的外表面某一点与测距模块之间的距离l;(3)、根据步骤(1)及步骤(2)检测的数据,计算出回转体表面的靶材涂层的实际厚度为:h=L‑r‑l。
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