[发明专利]粒子感测装置、以及具有粒子感测装置的电子设备有效
申请号: | 201610235833.5 | 申请日: | 2016-04-15 |
公开(公告)号: | CN107300515B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 何羽轩;吴怡德 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N15/02 | 分类号: | G01N15/02;G01N15/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了一种粒子感测装置以及具有所述粒子感测装置的电子设备。所述粒子感测装置包括:基板及至少一粒子感测元件。基板具有凹槽,在凹槽的底部具有通孔。通孔贯穿基板的底部。粒子感测元件设置于基板。粒子感测元件可包括:第一电极对及第二电极对。第一电极对设置于基板的内部,第一电极对的两个第一子电极分别邻近凹槽的两侧设置。两个第一子电极之间具有第一间距。第二电极对设置于基板的内部,第二电极对的两个第二子电极分别邻近凹槽的两侧设置。两个第二子电极之间具有第二间距。第一间距小于第二间距。粒子感测装置能够良好地对于悬浮微粒进行感测,且能够简单地被整合到各种电子设备中。 | ||
搜索关键词: | 粒子 装置 以及 具有 电子设备 | ||
【主权项】:
一种粒子感测装置,其特征在于,包括:基板,具有凹槽,在所述凹槽的底部具有通孔,所述通孔贯穿所述基板的底部;以及至少一粒子感测元件,设置于所述基板,其中,所述粒子感测元件包括:第一电极对,设置于所述基板的内部,所述第一电极对的两个第一子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置,所述两个第一子电极之间具有第一间距;以及第二电极对,设置于所述基板的内部,所述第二电极对的两个第二子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置,所述两个第二子电极之间具有第二间距,其中,所述第一间距小于所述第二间距,所述第一电极对较所述第二电极对接近所述通孔。
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