[发明专利]一种复合传感器在审
| 申请号： | 201610237674.2 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105783998A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 | 申请（专利权）人： | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种复合传感器，包括：至少一个加速度传感器；所述加速度传感器的顶部包括有保护盖板；所述加速度传感器中的部分结构复用为至少一个压力传感器的部分结构，其中，部分或全部所述保护盖板复用为所述至少一个压力传感器的压力敏感膜；所述至少一个压力传感器的剩余结构设置在所述保护盖板之上。本发明实施例提供的复合传感器既能够同时实现压力传感和加速度传感的集成，又能够减小压力传感器和加速度传感器集成后芯片的尺寸、降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 传感器 | ||
【主权项】：
一种复合传感器，其特征在于，包括：至少一个加速度传感器；所述加速度传感器的顶部包括有保护盖板；所述加速度传感器中的部分结构复用为至少一个压力传感器的部分结构，其中，部分或全部所述保护盖板复用为所述至少一个压力传感器的压力敏感膜；所述至少一个压力传感器的剩余结构设置在所述保护盖板之上。
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