[发明专利]电子-可编程磁性转移模块和电子元件的转移方法有效
申请号: | 201610242451.5 | 申请日: | 2016-04-19 |
公开(公告)号: | CN107305915B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 吴明宪;方彦翔;赵嘉信 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院;英属开曼群岛商錼创科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/683 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种电子‑可编程磁性转移模块和电子元件的转移方法,该转移方法包括下列步骤:于一第一基板上形成多个阵列排列的电子元件,每一电子元件包括一磁性部;通过一电子‑可编程磁性转移模块所产生的一磁力,选择性地从第一基板拾起部分电子元件;以及将被电子‑可编程磁性转移模块所拾起的部分电子元件转移至一第二基板上。 | ||
搜索关键词: | 电子 可编程 磁性 转移 模块 电子元件 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电子元件的转移方法,包括:(a)于一第一基板上形成多个阵列排列的电子元件,各该电子元件包括一磁性部;(b)通过一电子‑可编程磁性转移模块所产生的一磁力,选择性地从该第一基板拾起部分该些电子元件;以及(c)将被该电子‑可编程磁性转移模块所拾起的部分该些电子元件转移至一第二基板上,其中该电子‑可编程磁性转移模块包括多个电磁线圈,且各该电磁线圈是单独地被控制。
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