[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池及其制作方法，包括提供一基底；在基底一表面形成第一保护层；在基底背离第一保护层的表面制作硼扩散层；去除第一保护层和硼硅玻璃后，在硼扩散层背离基底一侧形成第二保护层；在基底背离硼扩散层的表面制作磷扩散层；去除第二保护层、磷硅玻璃和边缘pn结后，在磷扩散层背离基底一侧形成第一钝化层，以及，在硼扩散层背离基底一侧形成第二钝化层；在第一钝化层背离基底一侧形成正面电极并烧结后，得到太阳能电池。在基底的一表面制作硼扩散层，进而将硼扩散层作为太阳能电池的背电场，以在基底背离正面电极一侧形成高浓度掺杂区域，提高了背电场的效果，提高了太阳能电池的性能。

主权项

一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：提供一基底；在所述基底一表面形成第一保护层；在所述基底背离所述第一保护层的表面制作硼扩散层；去除所述第一保护层和硼硅玻璃后，在所述硼扩散层背离所述基底一侧形成第二保护层；在所述基底背离所述硼扩散层的表面制作磷扩散层；去除所述第二保护层、磷硅玻璃和边缘pn结后，在所述磷扩散层背离所述基底一侧形成第一钝化层，以及，在所述硼扩散层背离所述基底一侧形成第二钝化层；在所述第一钝化层背离所述基底一侧形成正面电极并烧结后，得到所述太阳能电池；其中，在所述基底背离所述第一保护层的表面制作硼扩散层为：在扩散炉管中对所述基底背离所述第一保护层的表面制作硼扩散层，其中，扩散工艺参数为：所述扩散炉管中的温度范围为850℃～1000℃，包括端点值；扩散时长范围为45min～110min，包括端点值；对所述扩散炉管通入的氧气和氮气的流量比氧气流量：氮气流量的范围为1：20～1:5，包括端点值。