[发明专利]一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构有效
| 申请号： | 201610247559.3 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN105696086B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 姜剑;孙聂枫;孙同年;王书杰;史艳磊 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，涉及半导体材料制备领域。本发明包括加热器、坩埚、坩埚托、上坩埚杆，坩埚及坩埚托置于加热器热场中，上坩埚杆设于坩埚托的底部，上坩埚杆为中空结构，上坩埚杆的下端设有密封结构，上坩埚杆的中空腔形成密封腔，热电偶穿过密封结构使热电偶测量端位于上坩埚杆的密封腔内的顶部；还设有中空的下坩埚杆，下坩埚杆的上端口与上坩埚杆的下端口为可拆卸式紧固连接结构。本发明能有效阻隔在高温高压情况下腐蚀性或挥发性气体渗入上坩埚杆腔内，防止热电偶测量端合金探头被腐蚀断或由于与渗入气体反应降低熔点导致其熔断，保证整个合成及晶体生长过程中温度精准的反馈和显示，提高晶体材料成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 单晶炉内 防止 热电偶 腐蚀 熔断 结构 | ||
【主权项】：
一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构，包括加热器(1)、坩埚(2)、坩埚托(4)、上坩埚杆(5),嵌套坩埚(2)的坩埚托(4)置于加热器(1)热场中，上坩埚杆(5)设于坩埚托(4)的底部，其特征在于，上坩埚杆(5)为中空结构，上坩埚杆(5)的下端设有密封结构，上坩埚杆(5)的中空腔形成密封腔，热电偶(6)穿过密封结构使热电偶测量端(7)位于上坩埚杆(5)的密封腔内的顶部；还设有中空的下坩埚杆(9)，下坩埚杆(9)的上端口与上坩埚杆(5)的下端口为可拆卸式紧固连接结构；所述的可拆卸式紧固连接结构为，上坩埚杆(5)的下端设有内螺纹，下坩埚杆(9)的上端设有外螺纹，上坩埚杆(5)与下坩埚杆(9)螺纹紧固连接；所述的密封结构为：上坩埚杆(5)下端部设有内螺纹段的孔径大于上坩埚杆(5)上部穿有热电偶(6)的中空腔的内径，使该内螺纹段的顶部形成上限位台肩，该上限位台肩的下面设有碳纤维毡垫圈(8)，热电偶(6)从所述碳纤维毡垫圈(8)中穿过，下坩埚杆(9)与上坩埚杆(5)螺纹旋紧时，碳纤维毡垫圈(8)被压紧在上坩埚杆(5)与下坩埚杆(9)之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十三研究所，未经中国电子科技集团公司第十三研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610247559.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
