[发明专利]一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法有效
| 申请号： | 201610248048.3 | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN107305289B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 赵永生;李勇军;闫永丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞;牛艳玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于微区空间相干图样的光学系统，该系统包括沿光路依次设置的显微镜(2)、第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)；该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(11)、第三全反镜(13)、第二双缝干涉成像透镜(14)和电荷耦合器件(16)；双缝、第一双缝干涉成像透镜、第二全反镜、成像透镜和第二双缝干涉成像透镜为可移动元件，通过各可移动元件在光路上的放置或去除形成不同的光学路径。本发明还提出了该系统的工作方法。该系统和方法能通过干涉图样的采集来测量微纳尺度下的光源的空间相干性以及相干面积，弥补现有光学显微系统的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 空间 相干 图样 光学系统 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于微区空间相干图样的光学系统，该系统包括沿光路依次设置的第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)和第一双缝干涉成像透镜(7)，其特征在于，该系统还包括沿光路在第一全反镜(3)前设置有显微镜(2)，以及在第一双缝干涉成像透镜(7)后设置有第二全反镜(9)；该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(11)、第三全反镜(13)、第二双缝干涉成像透镜(14)和电荷耦合器件(16)；其中，双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)、成像透镜(11)和第二双缝干涉成像透镜(14)为可移动元件，通过各可移动元件在光路上的放置或去除形成不同的光学路径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院化学研究所，未经中国科学院化学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610248048.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：扫描反射镜装置及其制造方法
- 下一篇：光学镜片及其治具
