[发明专利]一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统

摘要

本发明实施例提供了一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统，所述系统至少包括机台Tool、残余气体分析仪RGA的传感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工厂主机Fab Host；其中，所述RGA SENSOR安装在所述Tool的指定腔室内，所述Tool通过第一通信接口与所述Sensor Controller进行通信，用于将所述Tool的机台信息发送至所述Sensor Controller中；所述Tool通过第二通信接口与所述Fab Host进行通信，所述Sensor Controller通过第三通信接口与所述Fab Host进行通信。本发明实施例可以使得Sensor Controller可以直接从Tool中获得机台信息，方便用户在Sensor Controller中依据机台信息查找相关的信息，提高便捷性，提升系统的实用性。

主权项

一种基于RGA的工艺过程控制系统，其特征在于，所述系统至少包括机台Tool、残余气体分析仪RGA的传感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工厂主机Fab Host；其中，所述RGA SENSOR安装在所述Tool的指定腔室内，所述Tool通过第一通信接口与所述Sensor Controller进行通信，用于将所述Tool的机台信息发送至所述Sensor Controller中；所述Tool通过第二通信接口与所述Fab Host进行通信，所述Sensor Controller通过第三通信接口与所述Fab Host进行通信。