[发明专利]纳米压印模板的制作方法及纳米压印模板有效
申请号: | 201610255462.7 | 申请日: | 2016-04-21 |
公开(公告)号: | CN105700292B | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 陈黎暄;李泳锐 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种纳米压印模板的制作方法及纳米压印模板。本发明的纳米压印模板的制作方法,先在圆柱状的硬质滚筒的外圆周面上包覆一层软性的具有纳米线栅结构的膜片,形成纳米线栅结构膜层,得到中间筒体,然后利用低熔点焊料合金在所述中间筒体的外圆周面上沿所述纳米线栅结构膜层的纳米线栅结构形成一层结构硬化层,得到具有纳米线栅结构的纳米压印模板;通过在软质的纳米线线栅结构上形成一层硬质的结构硬化层,对软质的纳米线线栅结构进行硬化,从而克服在压印过程中微结构材质本身硬度不够的问题,使得卷对卷微结构压印,特别是纳米线栅压印成为实际工艺中可行的一部分,进而提高线栅偏光片的制作效率。 | ||
搜索关键词: | 纳米 压印 模板 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种纳米压印模板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供一圆柱状的硬质滚筒(1);步骤2、提供具有纳米线栅结构的膜片,将该膜片包覆在所述硬质滚筒(1)的外圆周面上形成纳米线栅结构膜层(2),得到中间筒体;步骤3、提供低熔点焊料合金,将该低熔点焊料合金加热至液态,将步骤2得到的中间筒体浸入该低熔点焊料合金液体中、或者在加热后的中间筒体上涂布一层该低熔点焊料合金液体,冷却后,在所述中间筒体外圆周面上沿所述纳米线栅结构膜层(2)的纳米线栅结构形成一层结构硬化层(3),从而得到具有纳米线栅结构的纳米压印模板。
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