[发明专利]一种制备透明导电电极的方法

摘要

本发明公开了一种制备透明导电电极的方法，包括1)制备透明导电材料；2)形成反应区域在透明导电材料的导电层上形成反应区域；3)导入反应气体进行反应向反应区域导入反应气体，使反应区域内的导电层与反应气体发生反应；4)获得透明导电电极反应结束后，向反应区域通入保护气体除去反应区域内的残余反应气体，即得透明导电电极。本发明通过反应气体与导电层反应，使导电层部分导电材料转化为不导电材料，从而得到图案化的电极，并且导电区域和非导电区域光学性能差异极低，实现完全消影蚀刻，在实际应用中效果显著，且制备流程简单，制备成本低。

主权项

一种制备透明导电电极的方法，包括：1)制备透明导电材料；2)形成反应区域：在透明导电材料的导电层上形成反应区域；3)导入反应气体进行反应：向反应区域导入反应气体，使反应区域内的导电层与反应气体发生反应；4)获得透明导电电极：反应结束后，向反应区域通入保护气体除去反应区域内的残余反应气体，即得透明导电电极；所述步骤2)3)4)采用透明导电电极加工装置进行，所述透明导电电极加工装置包括模板体、吸附平台和用于将模板体压紧在吸附平台上的压紧件，所述模板体为平板型，模板体设置在吸附平台上，模板体上设置有密封环、接触件和通气孔，所述密封环和接触件固定在模板体靠近透明导电材料的一侧，所述接触件位于密封环内，所述密封环和接触件之间形成非接触腔，所述通气孔设置在模板体非接触腔处，通气孔为两个以上；所述步骤1)具体为：通过旋涂、喷涂、印刷、自组装、气相沉积、液相沉积或电镀工艺在透明基材上形成导电层；所述步骤2)具体为：透明导电材料置于吸附平台上，模板体上的密封环和接触件抵持在透明导电材料的导电层上并压紧，非接触腔在透明导电材料上形成反应区域；所述步骤3)具体为：通过模板体上的通气孔向反应区域导入反应气体，反应区域内的导电层与反应气体进行反应；所述步骤4)具体为：通过模板体上的通气孔向反应区域通入保护气体除去反应区域内的残余反应气体，除去模板体，即得透明导电电极。