[发明专利]靶材组件及其制备方法在审
| 申请号： | 201610257409.0 | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN105714254A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 肖世文;黄建威 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/08;C23C4/129;C23C4/134 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;黄华莲 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及国际专利分类C23C用金属材料对材料的镀覆技术，具体涉及一种靶材组件及其制备方法；靶材组件包括基管和靶材本体，在所述基管上喷涂有与所述靶材本体形成过渡的靶材复合层；靶材组件的制备方法包括去除基管表面杂质的步骤，在基管上喷涂形成靶材复合层的步骤，然后将靶材本体与靶材复合层喷涂结合为一体；采用本发明技术方案的靶材组件及其制备方法，使得靶材与基管牢固结合，靶材不容易变形、移位、脱靶，且靶材制造方便。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件，包括基管和靶材本体，其特征在于：在所述基管上喷涂有与所述靶材本体形成过渡的靶材复合层。
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