[发明专利]一种真空紫外光源装置有效
| 申请号： | 201610261838.5 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN106469641B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 谢英英;欧宏炜 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J63/08 | 分类号： | H01J63/08;H01J63/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200439 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空紫外光源装置，包括等离子保持器、射频电场聚焦器和密封固定装置。本发明装置利用等离子局域场原理在局部空间形成高密度的射频电场(电场强度可以达到107V/m)，可以直接电离激发等离子，不需要传统的点火装置，简化了系统，提高了实用和稳定性；通过对射频电场聚焦器、等离子保持器尺寸参数、进气参数进行合理配置，可以实现1018photons/(Sr*S)以上级别的紫外光发光强度；本发明装置不受传统的工作气体限制，可以使用多种不同的工作气体，发出的紫外光能量可以覆盖6～50eV；另外本发明的装置可有10000小时以上的超长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 亮度 真空 紫外 光源 装置 | ||
【主权项】：
一种真空紫外光源装置，其特征在于：包括等离子保持器、射频电场聚焦器和密封固定装置；所述密封固定装置包括真空接口；所述射频电场聚焦器为等离子局域场型电场聚焦器，包括射频源、天线、内导体和外导体；所述天线第一端与所述射频源电性连接，所述天线第二端与所述外导体电性连接；所述等离子保持器包括光传导部和进气口；所述等离子保持器至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内。
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