[发明专利]一种氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法

摘要

本发明属于微波器件领域，涉及一种以氮化铝材料为原料，采用电泳沉积的方法，在行波管用阴极热丝表面制备一层致密的氮化铝陶瓷涂层，从而制备一种氮化铝绝缘层阴极热丝。采用乙醇等有机溶剂超声分散氮化铝粉末，制得稳定悬浮液，通过电泳沉积工艺在清洗干净的钨铼丝表面沉积一层氮化铝薄膜，再经过高温烧结后获得致密氮化铝绝缘层的阴极热丝。本方法工艺简单，设备要求低，涂层和钨铼丝具有更好的热膨胀匹配，涂层不易开裂脱落，且该涂层具有导热率高、电阻率大等优点，制得的涂层热丝使用寿命长，可靠性高。

主权项

一种氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法，其特征在于，采用电泳沉积法，用纳米氮化铝粉末和氧化钇粉末为原料，均匀分散于有机溶剂中制备成稳定悬浮液，控制电压和电极间距，在绕制热丝上沉积一层厚度均匀陶瓷，通过排胶、烧结，制得带有致密氮化铝绝缘层的阴极热丝；具体步骤为：1)选取平均粒径1～5μm的高纯氮化铝粉末和平均粒径0.03μm的氧化钇粉末作为原料；2)把氮化铝粉末加到有机溶剂中，按氮化铝质量的0.1～3％加入氧化钇粉末，加入分散剂，超声分散后，制备出固含量为5～15％的稳定悬浮液；3)将绕制好的钨铼丝放入20％的氢氧化钠溶液煮沸，超声清洗10分钟，将清洗好的钨铼丝固定在金属铂电极上，放入电解槽，电极间距20～50mm，通入50～100V的直流电压，沉积厚度为0.02～0.2mm，结束后取下电极和热丝；4)将热丝在60～80℃的干燥箱干燥1～2小时，氢气气氛中500～600℃排胶处理1～2小时，放入钨丝炉中，氢气或氩气或氮气或氮氢混合气中1800℃下烧结1～2小时，获得具有致密氮化铝陶瓷涂层的阴极热丝。