[发明专利]处理装置有效
| 申请号： | 201610269430.2 | 申请日： | 2011-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105957791B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 笠原稔大 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种处理装置，具备使操作容易且不成为产生微粒的原因，能够适用于大型处理容器的防止散热构造。抑制散热单元(105)以覆盖处理容器(101)的各侧壁(101b)的外壁面的一部分或大致全部面的方式沿着侧壁(101b)配置。抑制散热单元(105)由多个板材(106)构成，各板材(106)安装在隔离件(107)上，该隔离件(107)配设于处理容器(101)的侧壁(101b)的外壁面。各板材(106)通过插装隔离件(107)而与处理容器(101)隔开间隔地安装，从而在中间形成空气隔热部(180)。 | ||
| 搜索关键词： | 处理容器 隔离件 侧壁 处理装置 散热单元 空气隔热部 隔开间隔 散热构造 外壁面 插装 外壁 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种处理装置，具备：处理容器，其形成处理被处理体的处理室，其中所述被处理体是长度超过2米的矩形基板；多个侧壁，其构成所述处理容器的外壁面并在所述多个侧壁的内部设置有热介质流路；抑制散热组合体，其是将对上述外壁面从外侧覆盖的多个板材组合而成的，其中上述多个板材分别具有面积比所述侧壁的面积小的平面，通过将上述板材相对于上述处理容器的外壁面隔开间隔地分离，部分地或全体地多重配置，由此在上述处理容器与上述抑制散热组合体之间具有部分或全体设置为多层的空气隔热部，且所述空气隔热部与处理容器内部隔绝。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610269430.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种四极杆质量分析器的分析方法
- 下一篇：一种免吊钟罩维护的无励磁分接开关
