[发明专利]一种波面离焦校正装置在审
| 申请号： | 201610277908.6 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN105700127A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李国会;吴晶;向汝建;欧龙 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种波面离焦校正装置，该方案包括有镜片、冷却腔、驱动器、水管、底座、进水口、出水口和支座；镜片粘结在冷却腔上；驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；底座固定在支座上；支座上设置有进水孔和出水孔；水管的进水口和出水口与支座上的进水孔和出水孔一一对应。该方案可以根据应用需求对驱动器加载不同载荷，镜面在驱动器的作用下上下运动，使镜面发生形变，从而矫正波面离焦，同时，该方案能够减小镜片上的热沉积引起的热畸变对面形的影响，避免引入不必要的额外像差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波面离焦 校正 装置 | ||
【主权项】：
一种波面离焦校正装置，其特征是：包括有镜片、冷却腔、水管、底座、进水口、出水口和支座；所述镜片粘结在冷却腔上；所述驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；所述水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；所述底座固定在支座上；所述支座上设置有进水孔和出水孔；所述水管的进水口从支座的进水孔穿出；所述水管的出水口从支座的出水孔穿出。
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