[发明专利]伯努利基座在审
| 申请号： | 201610278821.0 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107326434A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 刘源;保罗·邦凡蒂 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种伯努利基座，包括支撑柱以及位于所述支撑柱上的支撑平台，所述支撑平台用于支撑晶圆，所述支撑平台内设置有气体通道，所述支撑平台的上表面设置有若干个气孔，所述气孔与所述气体通道连通；所述支撑柱内设置有气体入口，用于向所述气体通道内通入气体，从而使得气体通过气孔进入晶圆下表面与伯努利基座之间，避免了晶圆与伯努利基座的直接接触，从而避免在外延硅生长过程中由于晶圆与基座相接触而产生的一些缺陷，提高外延硅的质量，进而提高半导体器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 伯努利 基座 | ||
【主权项】：
一种伯努利基座，包括支撑柱以及位于所述支撑柱上的支撑平台，所述支撑平台用于支撑晶圆，其特征在于，所述支撑平台内设置有气体通道，所述支撑平台的上表面设置有若干个气孔，所述气孔与所述气体通道连通；所述支撑柱内设置有气体入口，用于向所述气体通道内通入气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610278821.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种翻转装置
- 下一篇：KDP类晶体的生长装置
