[发明专利]用于三维系统级封装的封装结构及封装方法有效
申请号: | 201610281266.7 | 申请日: | 2016-04-28 |
公开(公告)号: | CN105957837B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 李诚;蔡坚;王谦;陈瑜 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L23/08 | 分类号: | H01L23/08;H01L23/13;H01L23/14;H01L23/538;H01L21/48;H01L21/768;B81B7/00;B81C3/00 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 南毅宁;桑传标 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于三维系统级封装的封装结构及封装方法。封装结构包括:第一载板;第一元器件组,设置在第一载板的上表面,并与第一载板上的布线结构电连接,第一元器件组包括空腔封装型元器件和/或非空腔封装型元器件;环形模塑体,设置在第一载板的上表面,并与第一载板形成空腔;第二载板,设置在环形模塑体上,并封盖空腔;第二元器件组,设置在第二载板的下表面,并与第二载板上的布线结构电连接,第二元器件组包括空腔封装型元器件,空腔封装型元器件被容纳在空腔内;第一导电连接件,连接第二载板的布线结构和第一载板的布线结构,以使第一元器件组与第二元器件组之间电气互连。由此,可以较低成本实现带空腔的三维系统级封装。 | ||
搜索关键词: | 用于 三维 系统 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于三维系统级封装的封装结构,其特征在于,包括:第一载板;第一元器件组,设置在所述第一载板的上表面,并与所述第一载板上的布线结构电连接,所述第一元器件组包括至少一个非空腔封装型元器件;环形模塑体,设置在所述第一载板的上表面,并与所述第一载板形成空腔,以及,所述环形模塑体覆盖所述非空腔封装型元器件,以对所述非空腔封装型元器件进行模塑封装;第二载板,设置在所述环形模塑体上,并封盖所述空腔;第二元器件组,设置在所述第二载板的下表面,并与所述第二载板上的布线结构电连接,所述第二元器件组中包括至少一个空腔封装型元器件,所述空腔封装型元器件被容纳在所述空腔内;以及第一导电连接件,连接所述第二载板的布线结构和所述第一载板的布线结构,以使所述第一元器件组与所述第二元器件组之间电气互连。
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