[发明专利]激光扫描密封玻璃封装体的封装方法有效
| 申请号： | 201610285756.4 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN107331796B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 黄元昊;李牧野;李存 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光扫描密封玻璃封装体的封装方法，包括以玻璃封装体的玻璃料形成的密封线为扫描向，使激光光斑的几何中心沿着所述密封线的扫描向的对称中心线的两侧偏移一定相等的距离的方式使激光光斑投射到玻璃料上扫描形成第一个周期和第二个周期的步骤；将所述第一个周期和所述第二个周期设为一个循环周期，至少扫描一次所述循环周期，以将玻璃料熔化，使玻璃封装体的上基板玻璃与下基板玻璃连接在一起，形成气密式密封封装。本发明能够解决玻璃封装体的玻璃料在非扫描向的温度分布不均匀的问题，有利于提高玻璃封装体的封装质量。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 扫描 密封 玻璃封装 封装 方法 | ||
【主权项】：
一种激光扫描密封玻璃封装体的封装方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，以玻璃封装体的玻璃料形成的密封线为扫描向，使激光光斑的几何中心沿着所述密封线的扫描向的对称中心线的任意一侧偏移一定距离的方式使激光光斑投射到玻璃料上扫描形成第一个周期；步骤S2，以玻璃封装体的玻璃料形成的密封线为扫描向，使激光光斑的几何中心沿着所述密封线的扫描向的对称中心线的另外一侧偏移一定距离的方式使激光光斑投射到玻璃料上扫描形成第二个周期；步骤S3，将所述第一个周期和所述第二个周期设为一个循环周期，至少扫描一次所述循环周期，以将玻璃料熔化，使玻璃封装体的上基板玻璃与下基板玻璃连接在一起，形成气密式密封封装。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610285756.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
