[发明专利]采用显微图案电极热极化制备衍射光学元件的设备及方法有效
| 申请号： | 201610286749.6 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN105842767B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 杨光;陈宏飞;罗宏杰;高彦峰 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙)31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了本发明涉及一种采用显微图案电极热极化制备衍射光学元件的设备及方法，该设备包括复合钠钙硅玻璃、阳极、阴极、加热装置、纳米Ag颗粒、热电偶、绝缘陶瓷、不锈钢盒子、第一控制器、电脑、第二控制器、气体进出口，阳极、阴极分别位于复合钠钙硅玻璃的两侧。该热场和周期性电场设备可实现多种纳米/微米级显微结构的衍射光学元件。本发明可以通过调整热极化电压、温度、时间和Si阳极上的显微图案的周期性与形貌来电压达到控制样品的周期性与形貌。该设备可以一次实现大面积纳米/微米级显微结构的衍射光学元件，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 显微 图案 电极 极化 制备 衍射 光学 元件 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种采用显微图案电极热极化制备衍射光学元件的设备，其特征在于，其包括复合钠钙硅玻璃、阳极、阴极、加热装置、纳米Ag颗粒、热电偶、绝缘陶瓷、不锈钢盒子、第一控制器、电脑、第二控制器、气体进出口，阳极、阴极分别位于复合钠钙硅玻璃的两侧，纳米Ag颗粒位于复合钠钙硅玻璃的表面，热电偶位于阴极的正下方，绝缘陶瓷防止相应用电部位漏电及固定相应部件，复合钠钙硅玻璃、阳极、阴极、加热装置、纳米Ag颗粒、热电偶、绝缘陶瓷都位于不锈钢盒子内部且控制热极化过程中的气氛与气压，加热装置将由第一控制器实现控制，第一控制器与电脑连接并记录加热的具体过程，直流电压将由第二控制器实现控制，第二控制器与电脑连接并记录所加电压与电流的具体过程，不锈钢盒子上设有气体进出口。
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