[发明专利]一种一碘化铟多晶薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201610288731.X | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN105839053B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 徐朝鹏;李亚可;张磊;郭万春 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24 |
| 代理公司： | 秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙)13116 | 代理人： | 李合印 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种一碘化铟多晶薄膜，它是一种呈紫红色，具有金属光泽，表面光滑的薄膜；上述一碘化铟多晶薄膜的制备方法主要是将一碘化铟多晶放置在玛瑙研钵中研磨成粉末，放入坩埚内作为蒸发源；由涡轮分子泵实现真空腔室的背底真空度；将普通玻璃片作为蒸镀沉淀衬底，悬挂在坩埚上方处；通过电阻加热蒸发源，控制挡板精确地做出薄膜沉积；将所得的一碘化铟多晶薄膜冷却至室温，得到200～900nm的一碘化铟多晶薄膜。本发明制备的一碘化铟多晶薄膜具有厚度和成分均匀性好、附着效果好、薄膜纯度高、化学配比好、结构致密度的优点，不缺高沉积速率高、适合大面积生长、可以大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碘化 多晶 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种一碘化铟多晶薄膜，其特征是：它是一种呈紫红色，具有金属光泽，表面光滑的薄膜。
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