[发明专利]鳍式场效应管及其形成方法

摘要

一种鳍式场效应管及其形成方法，鳍式场效应管的形成方法包括：在鳍部的顶部和侧壁表面形成第一氧化层；去除所述第一区域的第一氧化层，暴露出第一区域的鳍部表面；在所述第一区域的鳍部表面形成第二氧化层；在所述第一氧化层上以及第二氧化层上形成刻蚀阻挡层；在所述刻蚀阻挡上形成隔离层，所述隔离层填充满相邻鳍部之间的区域；回刻蚀去除部分厚度的隔离层形成隔离结构，所述隔离结构顶部低于鳍部顶部；去除高于所述隔离结构顶部的刻蚀阻挡层，暴露出所述第二氧化层。本发明避免隔离结构损失的问题，并且还避免了有效鳍部底部宽度尺寸变大的问题，从而显著的改善了短沟道效应问题，提高了形成的鳍式场效应管的性能。

主权项

一种鳍式场效应管的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底以及位于衬底表面的分立的鳍部，所述衬底包括第一区域和第二区域；在所述鳍部的顶部和侧壁表面形成第一氧化层；去除所述第一区域的第一氧化层，暴露出第一区域的鳍部表面；在所述第一区域的鳍部表面形成第二氧化层，所述第二氧化层的厚度小于第一氧化层的厚度；在所述第一氧化层表面以及第二氧化层表面形成刻蚀阻挡层；在所述刻蚀阻挡表面形成隔离层，所述隔离层填充满相邻鳍部之间的区域，其中，所述刻蚀阻挡层的材料与所述隔离层的材料不同；回刻蚀去除部分厚度的隔离层形成隔离结构，所述隔离结构顶部低于鳍部顶部；去除高于所述隔离结构顶部的刻蚀阻挡层，暴露出高于隔离结构顶部的第二氧化层表面以及第一氧化层表面；在所述暴露出的第二氧化层表面形成第一栅极，所述第一栅极横跨第一区域的鳍部；在所述暴露出的第一氧化层表面形成第二栅极，所述第二栅极横跨第二区域的鳍部。