[发明专利]体声波共振器的共振结构在审
| 申请号： | 201610297594.6 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN107346962A | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 张家达;林瑞钦;覃永忠;江志烽 | 申请（专利权）人： | 稳懋半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 马雯雯,臧建明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波共振器的共振结构，包括一底电极、一压电层以及一顶电极，其中压电层形成于底电极之上，顶电极形成于压电层之上。底电极、压电层以及顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，共振区域具有一轮廓，轮廓由包含至少三个弧形边所连接而成，其中每一弧形边凹向轮廓的一几何中心。本发明可降低突波模态对体声波共振器的滤波特性的影响，并有效增强体声波共振器的质量因子。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 共振器 共振 结构 | ||
【主权项】：
一种体声波共振器的共振结构，其特征在于，包括：一底电极；一压电层，形成于所述底电极之上；以及一顶电极，形成于所述压电层之上；其中所述底电极、所述压电层以及所述顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，所述共振区域具有一轮廓，所述轮廓由包含至少三个弧形边所连接而成，其中每一弧形边凹向所述轮廓之一几何中心。
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